サキコーポレーションのインライン3次元Ｘ線検査装置は、弊社基板外観検査装置で培ったノウハウと新しいPlanarCT技術を採用した、サキ独自のインライン検査装置です。
従来とは異なるX 線CT 原理を用いることで、少ない撮像量とシンプルな演算処理で、高精度なスライス画像を高速で生成します。