特徴
高速、高精度検査を実現するハードウェア
3Di-AOIと同一の強固な筐体を使用
高剛性フレーム、ツインモータドライブによる高い位置精度
高精度リニアスケールを使用した高い停止精度
CoaXPress規格カメラ採用による高速計測検査
これら全てのマシン精度を保つための自己診断機能搭載。
多様な市場ニーズに対応するフレキシブルなハードウェア
全面2次元/3次元同時に検査可能
豊富な解像度（7μm、12μm、18μm）
豊富なマシンタイプ（M、L、XL、Dual）
これらお客様のニーズに合わせて組み合わせ自由自在。様々な市場ニーズに柔軟に対応します。
SAKIオリジナルソフトウェア
基板面補正技術
コプラナリティ検査が可能
充実したSPC機能
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