3Di-AOIと同一の強固な筐体を使用

高剛性フレーム、ツインモータドライブによる高い位置精度

高精度リニアスケールを使用した高い停止精度

CoaXPress規格カメラ採用による高速計測検査

これら全てのマシン精度を保つための自己診断機能搭載。

全面2次元/3次元同時に検査可能

豊富な解像度（7μm、12μm、18μm）
※3Si-ZS2は解像度18µｍの光学ヘッドのみ対応

豊富なマシンタイプ（M、L、XL、Dual）
※3Si-ZS2はシングルレーンのみ対応

これらお客様のニーズに合わせて組み合わせ自由自在。様々な市場ニーズに柔軟に対応します。

基板面補正技術

コプラナリティ検査が可能

充実したSPC機能